Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10773/2466
Title: Optimização do processo de revestimento à base de carbono de um reactor HFCVD
Author: Alves, Vítor Alberto Martins
Advisor: Cabral, Eduardo Gil Simões dos Santos
Grácio, José Joaquim de Almeida
Keywords: Engenharia mecânica
Filmes de diamante
Deposição química de vapor
Reactores químicos
Nucleação
Defense Date: 2008
Publisher: Universidade de Aveiro
Abstract: Este trabalho visa a caracterização e optimização das condições de deposição química em fase de vapor de filmes de diamante pelo processo de filamento quente através do estudo da influência de variáveis operatórias e condições do substrato. A primeira fase deste trabalho é dedicada ao estudo e caracterização de um reactor novo de HFCVD. São estudadas as propriedades e variáveis envolvidas durante o processo de deposição em fase de vapor por filamento quente e são implementadas soluções de instrumentação para um registo o mais exacto possível. A segunda fase deste trabalho tem como objectivo fazer o estudo do crescimento de diamante em substratos de WC-Co, com diferentes parâmetros de crescimento, nomeadamente a pressão, temperatura do substrato e mistura gasosa. Os filmes crescidos foram, depois, analisados recorrendo a técnicas de microscopia electrónica de varrimento (SEM) e espectroscopia Raman. ABSTRACT: This work serves the purpose of characterization and optimization, of a hot filament chemical vapor deposition reactor, for the deposition of diamond films. The study will be based on the variation of the conditions of the process. The first phase of this work is dedicated to the study and characterization of the behavior of a new HFCVD reactor. The properties and the variables evolved during the process of deposition will be studied. The objective of the second phase of this work, is the study of the influence of the variables of deposition in the morphology of deposited films.
Description: Mestrado em Engenharia Mecânica
URI: http://hdl.handle.net/10773/2466
Appears in Collections:MEC - Dissertações de mestrado
UA - Dissertações de mestrado

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